菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心技术与硬件配置

X 射线源：50 kV/50 W 钨靶微聚焦 X 射线管（铍窗口），焦点≤50 μm；高压三档可调（30/40/50 kV）；4 个电动切换准直器（最小 0.05×0.05 mm，标配含 Ø0.1 mm、Ø0.2 mm 等），3 个自动切换基本滤片；比例计数管探测器，兼顾高计数率与快速测量。

定位与观察：内置 500 万像素彩色视频显微镜，38×–184× 光学变焦，实时显示测量点；手动 XY 工作台（行程 30×40 mm），定位精度 ±0.005 mm；测量方向为从下往上，C 型开槽样品舱可容纳高度 174 mm 的样品。

软件与标准：搭载 WinFTM® 软件（标配 LIGHT 版，可选 BASIC/PDM/SUPER），支持 100 组程序预设、数据统计、报告生成与导出；符合 DIN ISO 3497、ASTM B568 及德国 RoV 射线安全法规。

关键性能指标

最小测量点：约 0.09×0.09 mm（≈Ø0.1 mm）

精度：Au > 0.1 μm 时，标样校准误差＜±5%；无标样＜±10%；80 nm 金镀层重复精度达 2.5 nm，COV（变异系数）＜5%

测量距离：0–27.5 mm 可调，支持 DCM 距离补偿

元素范围：Cl（17）~ U（92），可同时分析最多 5 种元素，支持单 / 双 / 三镀层、合金镀层厚度测量，以及 4 元合金成分分析

样品参数：高度 174 mm，XY 工作台承重 2 kg；整机尺寸 403×588×444 mm，约 45 kg