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PGI泰勒霍普森轮廓仪原理及测量信息
点击次数:34 更新时间:2025-12-11
泰勒霍普森 PGI (Precision Geometric Instrument) 轮廓仪是英国泰勒霍普森公司 (Taylor Hobson) 开发的高精度表面测量设备,主要用于表面粗糙度、轮廓形状、三维形貌和直径测量,精度可达亚纳米级(0.01nm)
核心技术与原理
PGI 技术全称 "相位光栅干涉仪"(Phase Grating Interferometer),是泰勒霍普森的测量技术,具有革命性优势:
突破性测量能力:可使用短测针测量大垂度 (sag),实现高刚度与低测力结合,大幅提升测量精度和重复性
工作原理:通过光栅衍射产生的干涉条纹变化精确计算表面轮廓,将机械位移转化为光学相位差进行测量,垂直分辨率达0.01nm,测量线性度达 **±0.1%**
Form Talysurf PGI NOVUS
双向测量:独特的NOVUS 传感器在正向和反向以相同精度测量,一次完成上下表面测量
测量范围:20mm 量程,分辨率 0.2nm,适用于轴承、喷油器、精密零件等多种工业应用
软件支持:搭载Metrology 4.0 智能软件,提供虚拟显示、智能移动和变量编程功能,简化复杂测量

