PGI泰勒霍普森轮廓仪原理及测量信息

更新时间：2025-12-11

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泰勒霍普森 PGI (Precision Geometric Instrument) 轮廓仪是英国泰勒霍普森公司 (Taylor Hobson) 开发的高精度表面测量设备，主要用于表面粗糙度、轮廓形状、三维形貌和直径测量，精度可达亚纳米级(0.01nm)

核心技术与原理

PGI 技术全称 "相位光栅干涉仪"(Phase Grating Interferometer)，是泰勒霍普森的测量技术，具有革命性优势：

突破性测量能力：可使用短测针测量大垂度 (sag)，实现高刚度与低测力结合，大幅提升测量精度和重复性

工作原理：通过光栅衍射产生的干涉条纹变化精确计算表面轮廓，将机械位移转化为光学相位差进行测量，垂直分辨率达0.01nm，测量线性度达 **±0.1%**

Form Talysurf PGI NOVUS

双向测量：独特的NOVUS 传感器在正向和反向以相同精度测量，一次完成上下表面测量

测量范围：20mm 量程，分辨率 0.2nm，适用于轴承、喷油器、精密零件等多种工业应用

软件支持：搭载Metrology 4.0 智能软件，提供虚拟显示、智能移动和变量编程功能，简化复杂测量