泰勒白光干涉测量系统集高精度、高稳定性和智能化于一体，专为工业与科研领域的精密表面形貌测量而设计。系统采用先进的干涉技术，配备闭环无压电Z轴扫描仪，提供2.2 mm垂直测量范围，并通过标配的AutoStitch功能实现高达100 mm的Z向拼接，适用于大台阶或复杂结构的高分辨率三维重建。1024×1024像素阵列支持大视场下保持空间分辨率，确保细节清晰呈现。

系统搭载新型Claritas 20光调节技术，显著提升角度灵敏度和数据质量，实现<0.2 Å的RMS可重复性与<0.1%的步高重复性，全量程内分辨率达0.1 Å。有限元优化的机械结构保障了出色的R&R性能，无压电设计更降低了长期使用中的维护成本。自动表面检测功能有效防止物镜碰撞，延长设备寿命。