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XD系列激光干涉仪测量精度(标准型)特点信息
点击次数:68 更新时间:2025-07-03
影响机床几何误差的因素环境因素:
>环境温度: 变化1 ℃,引起误差:1 ppm(1微米/1米长);>大气压力: 变化2.5 mmHg,引起误差: 1 ppm:相对湿度:变化50%,引起误差: 1 ppm;
材料温度: 变化1 ℃,引起误差: 11 ppm(钢),23 ppm(铝);
XD系列激光干涉仪测量精度(标准型)特点:一次安装能测量6项精度指标F Anke B Yaw)F Angie A (PivehF Angie C iRoll包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度偏摆角、俯仰角、滚动角把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度两点调光线.无需三脚架.测量调整简单快速传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴),约需3天的时间;API干涉仪只约需半天测量直线度/小角度/垂直度1转台时,不怕断光,可当自准直仪用,用于机床装配调试
>仪器测量误差在 0.5 ppm(0.5微米/米)激光长期稳频精度: 0.05 ppm
设计理念
>大大提高测量效率,减少机床受检时间最高测量精度:0.5 ppm(标准型)0.2 ppm(精密型)提高实际测量精度降低使用难度
便携性
测量机床全部误差所用的时间越短,越能够反映所测机床的真实情况。当用传统干涉仪测量时,因在测量各项指标时更换光学镜调整光路上要浪费大量的时间,难以保证机床检测数据的稳定性和重复再现性