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菲希尔X射线测厚仪XDV-SDD
菲希尔X射线镀层测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDV-SDD核心硬件配置
1. 探测核心(整机优势)
50mm² 大面积 SDD 硅漂移探测器,半导体制冷,Mn-Kα 分辨率≤140eV,低能元素灵敏度拉满,可直接测空气中 Al、P,超薄镀层检出极限达 2nm 金层
自研DPP + 数字脉冲处理器:超高计数率,同等精度下测量时长缩短 50%,批量检测效率大幅提升,重复性更稳定
2. X 射线激发系统
钨靶微聚焦 X 射线管,三档高压 10/30/50kV 自动切换
4 档电动切换准直器:最小光斑 φ0.25mm,最大 3mm 大光斑(大面积样品提速)
6 组自动切换滤光片,针对镍磷、贵金属、多层镀层优化激发条件
3. 自动测量平台
可编程高精度 XY 电动工作台,定位精度<5μm,支持矩阵批量自动扫描
电动 Z 轴升降,测量距离 0–80mm,DCM 距离补偿,高低异形工件无需反复校准
样品最大容纳高度 140mm,兼容大尺寸、异形五金、PCB、晶圆
高清彩色 CCD 显微镜头 + 1 级安全激光定位,十字标线可视化定点测量
4. 基础参数
可测元素:Al (13) ~ U (92),最多同步分析 24 种元素
成分检出下限:低至 ppm 级,塑料中 Pb 检出≈2ppm,满足 RoHS 严苛限值
整机重量:45kg,全封闭辐射防护仓,开盖自动断 X 光
配套软件:WinFTM® 专业分析软件,镀层厚度、元素含量、图谱、报表一体化输出