菲希尔X射线镀层测厚仪 XDLM237，菲希尔 XDLM237 是德国菲希尔（Fischer）推出的一款能量色散型 X 射线荧光（EDXRF）镀层测厚及材料分析仪，属于 XDLM 系列中的高配全自动型号

菲希尔X射线镀层测厚仪 XDLM237

菲希尔X射线测厚仪XDLM237核心定位与特点

它的设计初衷是为了测量超薄镀层和微小结构，非常适合电子制造、半导体封装及精密零部件行业的大批量自动化检测。相较于同系列的 231（固定平台）和 232（手动 XY 台），237 的核心优势在于全自动马达驱动的三轴样品台，当保护门打开时，工作台会自动移出至装卸位，能显著提升批量检测效率。

关键参数与配置

以下是该设备的核心硬件规格汇总：

测量元素与范围：可分析 Al(13) 至 U(92) 的元素，最多同时测定 24 种元素；镀层厚度量程宽泛，可达 0.001 μm 至 2500 μm。

X射线系统：采用微聚焦钨靶 X 光管（M 即 Microfocus），配备 4 种可切换准直器（最小光斑可达 0.05×0.05mm 或 Ø0.1mm）和 3 种基本滤片（Ni/Al/无），以适应微小焊盘或复杂形状样品的测量。

探测器与距离：使用比例接收器（PC），并具备 DCM 距离补偿功能，测量距离在 0–80mm 范围内可调，能在不接触样品的情况下保证测量稳定性。

样品台与视觉：电动可编程 XY+Z 轴，XY 行程 255×235mm，Z 轴升降 140mm；配备高分辨率 CCD 彩色摄像头（带 1x/2x/3x/4x 变焦）和激光定位，方便精准对位微小触点。

软件与标准：标配 WinFTM 软件，支持基本参数法（FP），无需标样即可分析多层镀层；测量符合 ISO 3497 和 ASTM B568 标准。