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菲希尔X射线测厚仪XULM240
菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心硬件配置
1. X 射线发射系统
微聚焦钨靶 X 射线管,铍窗口,功率50kV/50W,3 档高压可调(30/40/50kV),焦点≤50μm
4 组电动自动切换准直器:0.05×0.05mm、Ø0.1mm、Ø0.2mm、0.3×0.05mm;最小测量光斑 0.09×0.09mm(100μm),同系列 XUL210/220 最小仅 0.51mm,微区优势明显
3 片自动切换滤片(标配:无滤片、铝、镍),可选钴 / 镍吸收片适配特殊镀层
2. 探测器与成像
比例计数管探测器,数千 CPS 高计数率,薄金层短时间测量仍稳定
500 万像素彩色工业相机,38~184 倍光学变焦,实时可视化标记测量光斑,带刻度校准显示实际光斑大小
3. 样品工作台与舱体
标配手动 XY 工作台,行程 30×40mm,定位精度 ±0.005mm,适合微小引脚、线路定位
下置式 X 射线发射(射线从下往上打样),C 型开槽大舱体,样品最大高度 174mm
测量距离 0~27.5mm 连续可调,搭载 DCM 距离补偿,高低落差工件无需反复校准
4. 安全与环境
全屏蔽防护,通过德国 X 射线法规认证,日常操作无辐射风险
工作环境:10~40℃,湿度≤95% 无凝露,整机功耗≤120W