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菲希尔代理X射线镀层测厚仪XDAL237
菲希尔X射线测厚仪XDAL237核心定位
自上而下照射、电动 XY 自动化平台机型
面向超薄多层镀层无损检测 + 元素成分分析;
标配硅 PIN 半导体探测器(对比 XDLM237 比例计数器,能量分辨率大幅提升,适合薄层、相邻元素区分);
237 = 可编程电动 XY 工作台版本(同系列 231 为手动台)。
区分要点:
XULM 系列:自下而上照射、手动工作台,紧凑型,侧重经济型微小样品
XDAL 系列:自上而下测量,支持大板 C 型槽进出,可选电动平台,自动化、超薄镀层优先
关键硬件参数
X 射线源
钨靶微聚焦管 50kV / 50W;
4 档自动切换准直器(最小光斑 φ0.15 mm);
3 档自动初级滤片(Al / Ni / 无滤片)。
探测器配置(两大可选)
标准:帕尔贴制冷硅 PIN 探测器,能量分辨率≤200eV,检测元素 S (16)~U (92)
升级选配:SDD 硅漂移探测器,≤160eV,元素 Al (13)~U (92),可兼顾 RoHS 有害物质筛查