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菲希尔X射线镀层测厚仪FISCHER XDL230
菲希尔X射线测厚仪FISCHER XDL230核心硬件配置
1. 样品平台
- 手动 XY 工作台:行程 95 × 150 mm;工作台面 420 × 450 mm
- 电动 Z 轴:行程 140 mm,支持自动 / 手动聚焦
- DCM 距离补偿:0‑80 mm 测量距离补偿,高低落差、深腔、弯头零件无需垫高找平,异形件测量优势大
2. X 射线系统
- X 光管高压:30 kV / 40 kV / 50 kV 三档可调
- 标配准直器 φ0.3 mm;可选 φ0.1 mm、φ0.2 mm、狭缝准直器;最小光斑约 0.2 mm
- 探测器:比例计数管,计数率高、测量速度快、维护成本低
- 高清彩色视频摄像头,十字瞄准,可视化定位测点
3. 软件:WinFTM® V6,镀层建模、数据存储、报表导出、MQ 匹配校验
测量能力
- 可测元素:Cl (17)~U (92),覆盖 Zn、Ni、Cu、Cr、Au、Ag、Sn、Pd 等电镀常用金属
- 镀层:最多23 层复合镀层,同时识别 24 种元素
- 精度:镀层≥0.5 μm,顶层测量误差≤5%
- FP 基本参数法(无标样测量):内置 12 种纯元素谱库,新工艺可不用定制标准片;MQ 值判断镀层模型与样品匹配度,防止模型选错误测
- 标配 12 块基准标准片(Ag、Cu、Fe、Ni、Zn、Zr、Mo、Sn、W、Au、Pb、Cr)
- 支持固体样品、电镀液溶液成分分析