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菲希尔FISCHERSCOPE X-RAY XDL230测厚仪
菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XDL230核心特性与技术参数
以下是XDL230的主要技术规格汇总:
特性类别具体参数与说明
测量原理能量色散型X射线荧光光谱法(ED-XRF)
测量方式无损检测,可自动聚焦
元素分析范围氯(Cl, 17号元素)至铀(U, 92号元素)
测量能力最多可同时测量24种元素和23层镀层
X射线源钨靶X射线管,高压三档可调:30kV, 40kV, 50kV
探测器比例接收器
准直器(测量点大小)标准为φ0.3mm圆形,可选φ0.1mm、φ0.2mm及0.3mm x 0.05mm长方形。最小测量点直径约0.2mm
测量距离0 - 80mm,采用保护的DCM(测量距离补偿法),便于测量复杂形状样品
样品定位高分辨率CCD彩色摄像头(40x-160x放大),激光定位点,LED照明
最大样品尺寸/重量最大高度140mm,最大重量20kg
工作台手动X/Y平台(移动范围92x150mm),马达驱动Z轴(移动范围140mm)
设备重量约107kg
软件标配WinFTM V.6 LIGHT,可选配BASIC, PDM, SUPER版本
执行标准ISO 3497, ASTM B568
主要功能与特点
高精度与稳定性:设备长期稳定性好,测量精度高。对于厚度≥0.5μm的镀层,顶层测量精度≤5%。
分析能力:除了测量镀层厚度,还能分析材料成分和电镀溶液。其FISCHER基本参数法允许在无标准片的情况下完成测量。
灵活的样品适应能力:
异形件测量:从上往下的测量方向和DCM技术,使其能轻松分析非平整、复杂形状的样品。
大型样品:机身带有C型槽开口设计,可以测量比内部测量室更长更宽的样品,如大型印刷电路板(PCB)。
便捷的操作与观察:通过高清摄像头和十字线,可精确定位测量点,并实时观察测量过程。
数据与统计功能:软件可自动计算平均值、标准偏差,并能计算CP和Cpk值,超差时自动报警