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API激光干涉仪线性定位误差测量

API激光干涉仪线性定位误差测量

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API激光干涉仪线性定位误差测量
一次安装能测量6项精度指标
包括线性定位误差、 XX及YY两个方向直线度、
偏摆角、俯仰角、滚动角
把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
两点调光线. 无需三脚架. 测量调整简单快速

API激光干涉仪线性定位误差测量的详细资料:

API激光干涉仪线性定位误差测量

 

 

旧的方法:

激光头安装在机床工作台之外,机床所受的震动干扰和激光头的不同,产生测量误差。特别是在带有空气弹簧减震系统的机器上
三点对光,操作复杂
依靠电脑上的光强条的强弱来对, 余弦差较大

API XD干涉仪的测量方法:
一次安装也可同时测量其它五个参数;
利用电脑中的直线度实时显示,
数字化去除余弦差,测量准确;

两点调光,对光迅速

 

主要特点:

一次安装能测量6项精度指标
包括线性定位误差、 XX及YY两个方向直线度、
偏摆角、俯仰角、滚动角
把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度
两点调光线. 无需三脚架. 测量调整简单快速
传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴),约需3天的时间; API干涉仪只约需半天!
测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试

 

技术参数

5D/6D标准型: 
1. 线性:0.5ppm 
2. 测量范围:40米(1D可选80米) 
3. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值 
4. 大范围:800角秒 
5. 滚动角精度:1.0角秒 
6. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值 
7. 大范围:500um 
8. 垂直度精度:1角秒 
9. 温度:0.2摄氏度 
10.湿度:5% 
11.压力:1mmHg 

5D/6D精密型: 
1. 线性:0.2ppm 
2. 测量范围:25米 
3. 偏摆角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%显示较大值 
4. 大范围:400角秒 
5. 滚动角精度:0.5角秒 
6. 直线度精度:(0.5+0.1/m)um或1%显示较大值 
7. 大范围:300um 
8. 垂直度精度:0.5角秒 
9. 温度:0.1摄氏度 
10.湿度:3% 
11.压力:0.3mmHg 


5D/6D高精密型: 
1. 线性:0.2ppm 
2. 测量范围:根据用户要求而定 
3. 偏摆角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒 
4. 大范围:500角秒 
5. 滚动角精度:0.5角秒 
6. 直线度精度:(0.2+0.05/m)um 
7. 大范围:100um 
8. 垂直度精度:0.5角秒 
9. 温度:0.1摄氏度 
10.湿度:3% 
11.压力:0.3mmHg


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